- Molekularstrahl-Epitaxie
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Molekularstrahl-Epitaxie,Epitaxie.
Universal-Lexikon. 2012.
Molekularstrahl-Epitaxie
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Molekularstrahlepitaxie — (englisch molecular beam epitaxy, MBE) ist ein PVD Verfahren, um Kristalline dünne Schichten (bzw. Schichtsysteme) herzustellen. Das Verfahren wird vor allem in der Halbleitertechnik verwendet, unter anderem um Einkristalline Strukturen [1]… … Deutsch Wikipedia
